蚀刻加工:影响侧蚀的因素有哪些?
2020-11-25 来源:富振通

蚀刻加工的过程中,影响侧蚀的因素有很多,今天富振通的小编就给大家总结一下吧。

 

1.刻蚀方法:浸泡和鼓泡刻蚀会引起较大的侧面刻蚀,飞溅和喷射刻蚀都较小,尤其是喷射蚀刻加工效果非常好。

 

2.刻蚀液种类:不同的刻蚀液化学成分不同,刻蚀速率不同,刻蚀系数也不同。例如,酸性氯化铜蚀刻液的蚀刻系数通常为3,碱性氯化铜蚀刻液的蚀刻系数可达4。近期的研究表明,以硝酸为基础的刻蚀系统几乎不能实现侧面刻蚀,刻蚀线的侧壁几乎是垂直的。这种蚀刻系统还有待开发。

 

3.刻蚀速率:刻蚀速率慢会导致严重的侧面腐蚀。刻蚀质量的提高与刻蚀速率的加快有很大的关系。蚀刻加工速度越快,板在蚀刻液中停留的时间越短,侧蚀刻量越小,蚀刻出的图案清晰、整齐。

 

4.刻蚀液的pH:当碱性刻蚀液的pH值较高时,侧面刻蚀增大。为了减少侧面腐蚀,PH值应控制在8.5以下。

 

5.刻蚀液浓度:碱性刻蚀液浓度过低会加重侧面刻蚀,如图10-4所示,选择铜浓度高的刻蚀液有利于减少侧面刻蚀。

 

6.铜箔厚度:为了蚀刻细导线,尽量减少侧蚀,尽量使用()薄铜箔。线宽越窄,

 

铜箔的厚度应更薄。因为铜箔越薄,在蚀刻液中的时间越短,侧蚀刻量越小。

 

以上就是在蚀刻加工中,影响侧蚀的因素,希望对大家有所帮助。

 

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